玻璃基板缺陷检测、晶圆检测
产品优势
光学表⾯光洁度检测系统GSDD-3000主要⽤于光学元件表⾯瑕疵、灰尘、划痕、凹坑等检测，检测光学元件尺⼨可达300mm×300mm，可导⼊CAD 图，简单操作回溯，智能统计，检测精度5.0μm/10.0μm可选(可拓展)。
规格参数
| 项目名称 | 项目参数 |
|---|---|
| 检测精度 | <5.0μm |
| 物料尺寸 | 最大可达305mm*305mm |
| 报告 | 报告统计、mapping图输出 |
| 回溯系统 | 离线复判，产品检测结果实时跟踪 |
| 图像区域拼接 | √ |
| 指定区域扫描 | √ |
| 字符识别 | 支持二维码、字符识别 |
| 产能效率 | <4分钟/片（物料尺寸200mm*200mm，检测精度 10μm） |
| 检测内容 | 脏污、灰尘、划伤、麻点、坑点等缺陷、尺寸测量、 位置标注、等级分类等 |